第五百六十四章 打破瓦森纳协定的封锁（第3 / 4页）

的机会！

所以，他们接受了林本坚的技术，研发起来了浸润式光刻机，不过，这已经是03年的事情了，仅仅一年的时间，也就是04年，他们就制造出来了样机，然后迅速拿下了Ibm和台积电等等大客户的订单。

尼康仅仅晚了不到一年的时间，把自己的是157纳米激光的干式光刻机技术弄成功了，但是，客户却不要了！一代巨头尼康就这样衰落了，而阿斯麦从此成为了光刻机行业的老大。

这段历史，对于秦涛这个造船工程师，也是有所耳闻的，所以现在，他如果想要弯道超车的话，那当然就是选择对技术路线了！

只有三十多人的阿斯麦都能做到，拥有雄厚财力的明州集团，难道还做不到这种事情吗？

什么技术封锁，狗屁！到以后，明州集团的光刻机会成为阿斯麦一样的存在，全世界的巨头都得上赶着过来求购！

第二天。

清华大学，精密仪器系会议室。

“秦总，我们就知道，你们明州集团既然已经涉足了芯片领域，那就总有一天，会需要我们自己生产的加工设备的。”年过半百的负责人徐端义兴奋地说道：“接到了您的消息之后，我们激动得一晚上都没有睡着。”

国内搞光刻机也是有基础的，清华大学就是其中之一，他们的精密仪器系就是专业对口的，当年，为了搞国产的光刻机，他们曾经举行过大会战，在71年研制出中国第一台光刻机和分步重复照相机，并投入规模生产，供应全国半导体行业使用。前几年则是进一步研制了第三代“自动对准分步投影光刻机”，这款光刻机其实已经达到了世界先进水平，国际上的同行还曾经纷纷前来观摩学习，可惜当时没有任何的知识产权的概念，他们是知无不言言无不尽。

结果，技术都被国外同行学去了，他们生产的光刻机却没有客户使用，之后几年，他们也放弃了光刻机的研发。

徐端义是国内搞光刻机的领军人，心中是非常痛苦的，现在，终于迎来了好消息，秦总要投资搞光刻机了！

“我想知道，如果我们搞光刻机，能不能达到世界一流水平，以后我们自己就可以生产，哪怕被国外封锁都不怕？”秦涛也是单刀直入，毕竟他对这个行业不是特别熟悉。

“秦总，光刻机说起来很高大上，但是实际上，它主要由三部分组成。”徐端义介绍起来：“它需要全球顶级的光源，也就是专门的激光系统；还需要高精度的镜头，以及精密仪器制造技术。在这三个领域里，我们能解决最后一个，这是我们系的专长，但是，前两个系统就难了。”

阿斯麦在后世很牛，是世界上最强的光刻机巨头，但是，它也不过就是个总装厂，各种零件走的都是全球合作的道路，比如说镜头来自德国的蔡司，光源来自美国企业cymer。

“对啊，尤其是激光的光源，目前在全世界的光刻机生产厂的面前，都摆着193纳米激光光源的技术鸿沟，我们想要研制世界先进水平的光刻机，还得解决这个难题。”一旁的系主任开口说道。

虽然已经放弃了光刻机的研发，但是，众人还是关注这个行业的，秦总提出了这个想法之后，他们更是连夜收集了各种资料。

此时，他们必须要把各种困难都摆在眼前，告诉秦总这个行业有多难。

“你们听说过湿刻法吗？或者叫做浸润法？”秦涛提出了这条技术路线。

“秦总，这个方法并不是主流的，属于旁门左道，就算是解决了现在的193纳米光源的问题，也无法继续解决以后的问题，毕竟芯片制程需要不断的更新。”徐端义说道。

这也是几乎整个光刻机领域的工程师对林本坚的看法了，你这纯粹就是歪门邪道啊！

“但是，这种方式更有可能以小博大。”秦涛说道：“各位，不知道你们想过没有，就算是以后有了更先进的光源，但是照样会遇到制程问题，而这种方法还能继续使用啊！”

就拿尼康孜孜不倦地钻研的157纳米的光源相比，如果再借助这种湿刻法，那光源一下子就降低到100纳米以下了啊！

“秦总，您认为这条路可行？”徐端义认真地问道。

“没错，我们先不用考虑后期的问题，我们首先要考虑的就是如何在短期内达到世界主流水平，我们已经不可能从国外获得先进的光刻机了，但是我们的芯片产业不能崩，我们的龙芯一旦无法继续发展下去，那很可能会被市场淘汰，我们不可能交给别人代工，所以我们必须要有先进的光刻机，不管是什么技术路线，是否走旁门左道。大领导有句话说得很好，不管是白猫黑猫，抓住老鼠就是好猫。”

徐端义点头：“秦总，我理解您的紧迫性，如果要是使用这种技术的话，那就能使用我们现有的193纳米的光源，我们需要的镜头，可以请华亭光学仪器厂帮忙打磨，我们还真能继续向前走一大步，不过…”

“不过什么？”秦涛问道。

“首先，研发先进的光刻机需要大量的资金作为后盾。”徐端义说道：“现在，国家并没有相关的研发资金，如果我们要自筹资金研发的话，预计要投入数亿。”

“资金方面不是问题。”秦涛说道：“按照我的设想，我们明州集团会成立一个专门的微电子装备有限