第715章 搞出光刻机,挺直腰杆子(4k)(第2 / 3页)
,就只剩arfi这么个半代差距。
但euv光刻机一出现,又把这个差距拉到了至少1.5代,而且这个技术差距,不像制程工艺那么好追,是整个产业链的全面落后。
“不是我急,陆总,一旦euv预生产成功的话,英特尔、三星、台积电也许不出三五年,就能得到euv光刻机的生产线……”
尹志尧话里无不透着焦虑。
“尹教授,这台euv,asml、三星、英特尔、蔡司、台积电它们了多久才研制出来?”陆飞透过面罩的玻璃,直直看去。
“从林本坚提出浸润式微影技术的理论,到现在,大概十三、十四年。”
梁孟松站出来回答。
“对嘛,这不就结了。”
陆飞拍了拍尹志尧的肩膀,“euv集欧美日韩这么多全球最顶尖的半导体公司和人才,也要13年的时间,何况是我们呢!”
“陆总说的没毛病!”
孙红军机敏地当捧哏。
“咱们研究起步晚,技术经验积累少,人才还不够不精,再加上特么的技术封锁,能在这么短的时间,攻克65nmarf干式光刻机,就已经很不正常了,再快就该拍科幻片了。”
陆飞笑道:“落后不可怕,可怕的是不追赶,你看我们现在,已经步入正轨了。”
“可不是嘛,快赶上小霓虹了!”
孙红军嘿然一笑。
就像霓虹在新能源上梭哈错了氢能,在光刻机路线上,不去梭哈湿刻法,而是全力押注干刻法,却失败了,白白耗费人力财力时间。
今后,逻辑的光刻机就可以跟尼康、佳能竞争低端光刻机市场,先干翻了小霓虹!
“所以啊,尹教授,我知道你很急,但你先别急,arfi会有的,euv也会有的!”
陆飞环顾四周,激励士气。
“陆总!”
尹志尧郑重地点了下头,他作为中微半导体的领军人,非常清楚逻辑是两条腿走路,既跟微电子为首的单位合作arfi光刻机,又跟长春光机为主的科研所研究euv光刻机。
而且满世界找帮手,比如徕卡。
“老孙,这次的奖励方案做出来了嘛?”
陆飞侧目望向孙红军。
“已经拟出个初步方案,就等您来定。”
孙红军应了一声。
“嗯,但凡这次参与光刻机项目的,哪怕是拧了个螺丝的,也要多发奖金!”
陆飞双手叉腰,“65nm有了,还怕没有arfi?没有euv?接下来我们就向32nm、28nm,甚至28nm以下的发起冲击,不管是10年、20年,还是多长时间,也要搞出来!把这颗工业明珠给我摘下来,当弹珠卖!”
“我就是怕耽误了先进制程工艺的进程,毕竟我们买不到最先进的duv光刻机。”
尹志尧脸上露出一丝愧疚。
“梁博士,你的意思呢?”
陆飞把目光投向梁孟松。
“陆总放心,难度肯定是有的,但我可以保证,32nm,今年下半年就能风险性试产。”
梁孟松话锋一转,说出难题。
芯片代工制造的过程非常复杂,需要多方面的技术和设备支持,就像14nm是个关键的分界线,28nm也是个关键的分界线。
但设备还不是他最担心的,他最担心的是中芯被台积电打倒之后,下一个就轮到逻辑。
“这种情况我不是没有考虑。”
陆飞摆了摆手:“所以才把逻辑、澎拜的三分之一的产能放在台积电,就是让章忠谋顾虑,既想对付我们,又怕失去我们的订单。”
“可按我对章忠谋的了解,肯定不会善罢甘休。”梁孟松忧心道,“另外还有三星……”
陆飞笑道:“梁博士,三星现在的技术负责人还是蒋尚义,哪怕拿到了euv光刻机,你觉得他有这个能力带领三星冲击制程吗?”
“没有!”
梁孟松想也不想,“没这个可能!”
“对嘛,就连40/45nm工艺,三星还是靠我们,很难说不会又在一个节点上卡住,难以突破。”陆飞严肃说,“这么一比,台积电才是我们最大的敌人!不管现在,还是将来!”
“台积电那边计划今年过渡到32nm,然后最早在明年转向28nm,我们的进度并不比台积电慢。”梁孟松自信满满。
“梁博士,假如,我是说假如,假如没有最先进的代工厂给逻辑造芯片,假如逻辑还造不出比较先进的光刻机,假如……”
陆飞把前世华为遭到的打压说了一遍。
“陆总,这种极限施压情况下,也不是没有办法,可以考虑多重曝光技术。”
梁孟松沉吟片刻,一一列出优缺点。
尤其是缺点,虽然经过多重曝光工艺,可以改变光刻机的制程极限,但良品率低。
而且每次曝光都需要校准,而对准误差会在多次曝光中积累,进而影响芯片的质量。
“除了损耗,就是成本,多次曝光需要更多的光刻胶、耗材和设备,这个投入可能……”
不等梁孟松往下说,孙红军突然打断。
陆飞和他相视一笑,光刻机的光刻胶等材料,早就纳入备胎计划。
“梁博士